CD Type Kemisk Mekanisk Polermaskine
CP-maskiner af centerdrevne trykplader er udviklet fra Basic Type CP-maskiner ved at tilføje et sæt trykplade-centerdrevne ruller, som driver fire plader til at rotere under processen. Denne struktur kan eliminere hastighedsforskellen på trykpladerne forårsaget af de forskellige karakteristika af luftcylindre og den forskellige poleringsfriktion på hvert hoved, for bedre at sikre konsistensen af poleringsresultaterne for hvert hoved; Samtidig er styrehjulets hastighed justerbar, så trykpladernes hastighed kan justeres efter procesbehovet, og poleringsprocessen er mere fleksibel.
Keramisk plade eller trykplade er placeret gennem den centrale drivrulle og den ydre styrerulle. Gennem rotationen af polerpladen og den ydre styrerulles matchende handling, kan skiftningen af de keramiske plader mellem forskellige stationer realiseres. Assisteret af manipulatoren og kontrolsystemet kan den automatiske produktionslinje bygges for at forbedre effektiviteten og reducere omkostningerne.

Wafer bonding (bonding) metode
Tre typer af waferholdemetoder, som er: voksbinding, fastholdelse ved polering af skabeloner, ved brug af vakuumpatron, kan også anvendes på trykpladecenterdrevne type CP-maskiner.
For at opnå en stabil poleringsproces anbefales CP-seriens poleringsmaskine at bruge med poleringsopslæmningsstyringssystem til at kontrollere flow, temperatur, pH-værdi og andre indikatorer for polervæske.
CD TYPE CP serie kemisk mekanisk polermaskine
Type og spec | CP-380B-CD | CP-460B-CD | CP-610B-CD | CP-810B-CD |
Polerplade diameter | 381 mm | 460 mm | 610 mm | 812 mm |
Trykplade diameter | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Antal trykplade | 3 | 4 | 4 | 4 |
Polerplade RPM | 10~160 rpm | 10~160 rpm | 10~115 rpm | 10~87 rpm |
Poleringstryk (maks.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Centerdrevet motorkraft | 400W | 750KW | 1KW | 1,5KW |
Hovedmotoreffekt | 0.75kw | 1,5KW | 3kw | 5,5KW |
Strømforsyning | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Dimension | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Vægt (ca..) | 350 kg | 690 kg | 980 kg | 1800 kg |
Wafer lastekapacitet | 2"-4stk/hoved | 2"-5stk/hoved | 2"-10stk/hoved 4"-3stk/hoved | 2"-14stk/hoved 4"-5stk/hoved 5"-3stk/hoved |
Type og spec | CP-910B-CD | CP-1280B-CD | CP-1500B-CD |
Polerplade diameter | 914 mm | 1282 mm | 1500 mm |
Trykplade diameter | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
Antal trykplade | 4 | 4 | 4 |
Polerplade RPM | 10-80rpm | 10~64 rpm | 10-54rpm |
Poleringstryk (maks.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Centerdrevet motorkraft | 2KW | 3,5KW | 5,5KW |
Hovedmotoreffekt | 11 kw | 22kw | 35 kw |
Strømforsyning | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Dimension | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Vægt (ca..) | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Wafer lastekapacitet | 4"-7stk/hoved 5"-5stk/hoved 6"-3stk/hoved | 5"-8stk/hoved 6"-6stk/hoved 8"-3stk/hoved | 6"-8stk/hoved 8"5 stk/hoved |
Populære tags: cd-type kemisk mekanisk poleringsmaskine, Kina cd-type kemisk mekanisk poleringsmaskine producenter, leverandører, fabrik
Du kan også lide
Send forespørgsel












