MP Series Mechanical Polishing Machine
MP Series Mechanical Polishing Machine
MP Series Mechanical Polishing Machine

MP Series mekanisk polermaskine

Send forespørgsel

Produkt introduktion

LSTD MP-seriens mekaniske poleringsmaskine er udviklet til at opfylde kravene til hurtig polering af superhårde materialer. Udstyret bruger blød metalplade eller kompositplade og diamantopslæmning med specifik partikelstørrelse, som kan få det behandlede emne til at nå spejloverfladen hurtigt. En anden væsentlig fordel ved mekanisk polering er, at den under forudsætning af god kontrol med pladeformen kan opnå en meget flad emneoverflade med næsten ingen kantkollaps. For emnet (wafer) med epitaksial påføring, efter mekanisk polering, kan procestiden for kemisk mekanisk polering forkortes kraftigt, og omkostningerne reduceres. MP-serien kemisk mekanisk polermaskine kan bruges til mekanisk polering af forskellige superhårde halvlederwafere såsom safir, siliciumcarbid og diamant, samt polering af andre superhårde materialer såsom keramik, hårdmetal og bratkølet stål.

Ligesom CP-seriens kemiske mekaniske polermaskiner:

MP-seriens mekaniske polermaskiner er også opdelt i tre samme modeller: basistype, trykskive centerdrevet type (CD-type) og trykpladeuafhængig drevet type (IDP-type) (se side 4; MP-seriens mekaniske polermaskiner har en struktur, der ligner CP serie kemiske mekaniske poleringsmaskiner, men for at imødekomme behovene for mekanisk polering er MP-seriens mekaniske polermaskiner udstyret med polerpladedrejningssystem til at rille pladerne.

IDP Type mekanisk polermaskine:

IDP Type mekanisk poleringsmaskine kan også forbedre den mekaniske poleringsnøjagtighed yderligere ved at integrere trykpladens svingfunktion; For at løse problemerne med ekspansionsdeformation og hårdhedsreduktion af poleringsplade forårsaget af opvarmning genereret af mekanisk polering, har LSTD udviklet en ny teknologi og ansøgt om et patent, som effektivt kan kontrollere pladens overfladetemperatur, pladeform og pladehårdhed; Til mekanisk polering af tredje generation af halvledermaterialer såsom siliciumcarbid, diamant og andre wafere kan denne teknologi effektivt løse problemerne med mekanisk poleringseffektivitet og nøjagtighed.

BASIC TYPE MP-serien mekanisk polermaskine

Type og spec	MP-380B(V*)	MP-460B(V)	MP-610B(V)	MP-810B(V)	MP-910B(V)	MP-1280B(V)	MP-1500B(V)
Polerplade diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm	898 mm	1262 mm	1480 mm
Trykplade diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm	360mm/355mm	485 mm	576 mm
Antal trykplade	3	4	4	4	4	4	4
Polerplade RPM	10~160 rpm	10~160 rpm	10~115 rpm	10~87 rpm	10-80rpm	10~64 rpm	10-54rpm
Poleringstryk (maks.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg	320 kg	560 kg	760 kg
Motorkraft	0.75kw	1,5 kw	3kw	5,5KW	11 kw	22kw	35 kw
Strømforsyning	3PH, 380V, 50Hz
Dimension	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
Vægt (ca..)	420 kg	720 kg	1080 kg	2200 kg	2400 kg	7300 kg	9500 kg
Wafer lastekapacitet	2"-4stk/hoved 2"-3stk/hoved(V)	2"-5stk/hoved 2"-4stk/hoved(V)	2"-10stk/hoved 4"-3stk/hoved	2"-14stk/hoved 4"-5stk/hoved 5"-3stk/hoved	4"-7stk/hoved 5"-5stk/hoved 6"-3stk/hoved	5"-8stk/hoved 6"-6stk/hoved 8"-3stk/hoved	6"-8stk/hoved 8"-5stk/hoved

CD TYPE MP serie mekanisk polermaskine

Type og spec	MP-380B-CD	MP-460B-CD	MP-610B-CD	MP-810B-CD
Polerplade diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm
Trykplade diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm
Antal trykplade	3	4	4	4
Polerplade RPM	10~160 rpm	10~160 rpm	10~115 rpm	10~87 rpm
Poleringstryk (maks.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg
Centerdrevet motorkraft	400W	750KW	1KW	1,5KW
Hovedmotoreffekt	0.75kw	1,5KW	3kw	5,5KW
Strømforsyning	3PH, 380V, 50Hz
Dimension	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H
Vægt (ca..)	420 kg	720 kg	1080 kg	2200 kg
Wafer lastekapacitet	2"-4stk/hoved	2"-5stk/hoved	2"-10stk/hoved 4"-3stk/hoved	2"-14stk/hoved 4"-5stk/hoved 5"-3stk/hoved

Type og spec	MP-910B-CD	MP-1280B-CD	MP-1500B-CD
Polerplade diameter	898 mm	1262 mm	1480 mm
Trykplade diameter	360 mm / 355 mm	485 mm	576 mm
Antal trykplade	4	4	4
Polerplade RPM	10-80rpm	10~64 rpm	10-54rpm
Poleringstryk (maks.)	320 kg	560 kg	760 kg
Centerdrevet motorkraft	2KW	3,5KW	5,5KW
Hovedmotoreffekt	11 kw	22kw	35 kw
Strømforsyning	3PH, 380V, 50Hz
Dimension	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
Vægt (ca..)	2400 kg	7300 kg	9500 kg
Wafer lastekapacitet	4"-7stk/hoved 5"-5stk/hoved 6"-3stk/hoved	5"-8stk/hoved 6"-6stk/hoved 8"-3stk/hoved	6"-8stk/hoved 8"5 stk/hoved

IDP TYPE MP serie mekanisk polermaskine

Type og spec	MP-380B-IDP	MP-460B-IDP	MP-610B-IDP	MP-810B-IDP
Polerplade diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm
Trykplade diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm
Antal trykplade	3	3	4	4
Polerplade RPM	10~160 rpm	10~160 rpm	10~115 rpm	10~87 rpm
Poleringstryk (maks.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg
Trykpladedrevet Motorkraft	200W	200W	400KW	400KW
Trykpladens rotationshastighed	0~200 rpm	0~200 rpm	0~100 rpm	0~100 rpm
Hovedmotoreffekt	0.75kw	1,5 kw	3kw	5,5KW
Strømforsyning	3PH, 380V, 50Hz
Dimension	950L 770W 1560H	1100L 850W 1650H	1350L 900W 1700H	1600L 920W 1900H
Vægt (ca..)	350 kg	350 kg	980 kg	1800 kg
Wafer lastekapacitet	2"-4stk/hoved	2"-4stk/hoved	2"-10stk/hoved 4"-3stk/hoved	2"-14stk/hoved 4"-5stk/hoved 5"-3stk/hoved

Type og spec	MP-910B-IDP	MP-1280B-IDP	MP-1500B-IDP
Polerplade diameter	898 mm	1262 mm	1480 mm
Trykplade diameter	360 mm / 355 mm	485 mm	576 mm
Antal trykplade	4	4	4
Polerplade RPM	10-80rpm	10~64 rpm	10-54rpm
Poleringstryk (maks.)	320 kg	560 kg	760 kg
Trykpladedrevet Motorkraft	2KW	1KW	1,3KW
Trykpladens rotationshastighed	2KW	0~100 rpm	0~100 rpm
Hovedmotoreffekt	11 kw	22kw	35 kw
Strømforsyning	3PH, 380V, 50Hz
Dimension	1800L 1262W 2120H	2180L 1670W 2200H	2800L 2020W 2500H
Vægt (ca..)	2200 kg	7000 kg	8600 kg
Wafer lastekapacitet	4"-7stk/hoved 5"-5stk/hoved 6"-3stk/hoved	5"-8stk/hoved 6"-6stk/hoved 8"-3stk/hoved	6"-8stk/hoved 8"5 stk/hoved

Populære tags: mp-serie mekanisk polermaskine, Kina mp-serie mekanisk polermaskine producenter, leverandører, fabrik

Et par af

Nej

Næste

Nej

Du kan også lide

Send forespørgsel